[M] PVD法によるアルミニウム含有遷移金属窒化物薄膜の硬質特性および結晶学的特性

著者: 巻野, 勇喜雄 三宅, 正司 協力者・編者: 日本粉末冶金工業会 (出版日: 2005)
https://hdl.handle.net/20.500.11932/1334573

資料: PVD法によるアルミニウム含有遷移金属窒化物薄膜の硬質特性および結晶学的特性

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作成時刻: 2023/07/31 14:57:04

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