[M] PVD法によるアルミニウム含有遷移金属窒化物薄膜の硬質特性および結晶学的特性

著者: 巻野, 勇喜雄 三宅, 正司 協力者・編者: 日本粉末冶金工業会 (出版日: 2005)
https://hdl.handle.net/20.500.11932/1334573

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コレクション:	元素戦略ライブラリー
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言語:	不明
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識別子:	Handle URI: https://hdl.handle.net/20.500.11932/1334573
全文ファイル	粉体粉末冶金協会講演概要集OCR_146.pdf (0.09 MB) NIMS Read Only ライセンス: Prohibit Commercial Use (NIMS only)
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