[M] Si front-end processing -- physics and technology of dopant-defect interactions III : symposium held April 17-19, 2001, San Francisco, California, U.S.A.

editors, Erin C. Jones ... [et al.]
著者: Jones, Erin C. Jones, Kevin S. Giles, Martin D. Stolk, Peter Matsuo, Jiro 出版者: Materials Research Society (出版日: 2001)

資料: Si front-end processing -- physics and technology of dopant-defect interactions III : symposium held April 17-19, 2001, San Francisco, California, U.S.A.

本棚: 集密書庫60 (並木)

貸出区分: 標準

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請求記号: MRS|P|669

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所蔵情報ID: 219169

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受入日: 2002年05月15日

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作成時刻: 2010/12/15 23:43:00

更新時刻: 2025/12/03 16:34:44