[M] Chemical mechanical polishing 2000 -- fundamentals and materials issues : symposium held April 26-27, 2000, San Francisco, California, U.S.A.

editors, Rajiv K. Singh ... [et al.]
著者: Singh, Rajiv K 出版者: Materials Research Society (出版日: 2001)

資料: Chemical mechanical polishing 2000 -- fundamentals and materials issues : symposium held April 26-27, 2000, San Francisco, California, U.S.A.

本棚: 集密書庫60 (並木)

貸出区分: 標準

貸出状態: 在架（利用可能）

請求記号: MRS|P|613

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所蔵情報ID: 218945

付録を含む: いいえ

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受入日: 2001年08月23日

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作成時刻: 2010/12/15 23:43:09

更新時刻: 2025/12/03 16:34:39