[M] ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜・界面の物性科学

エヌ・ティー・エス
Publisher: エヌ・ティー・エス (Date of publication: 2012-07)

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Form:	Volume
Language:	Japanese
Physical description:	22, 2, 4, 338, 11p ; 27cm
Subject:
Classification:	UDC: 538.975
Tag:
Identifier:	ISBN: 9784864690393
Abstract:
Note:

Item identifier	Library	Shelf	Call number	Circulation status
600105	Namiki	Books 7	538.975|N	Available On Shelf

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