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ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜・界面の物性科学 
岩井洋 [ほか著]
著者: 岩井, 洋 出版者: エヌ・ティー・エス (出版日: 2012-07)
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冊子体
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| 言語: | 日本語 |
| ページ数と大きさ: | 22, 2, 4, 338, 11p ; 27cm |
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ISBN: 9784864690393
NCID: BB09682498
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| 注記: |
著者のヨミは推定による//参考・引用文献: 各章末 |
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