[M] PVD法によるアルミニウム含有遷移金属窒化物薄膜の硬質特性および結晶学的特性

Creator: 巻野, 勇喜雄 三宅, 正司 Contributor: 日本粉末冶金工業会 (Date of publication: 2005)
https://hdl.handle.net/20.500.11932/1334573

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Collection:	元素戦略ライブラリー
Form:	Online resource
Language:	unknown
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Identifier:	Handle URI: https://hdl.handle.net/20.500.11932/1334573
Full-text file	粉体粉末冶金協会講演概要集OCR_146.pdf (0.09 MB) NIMS Read Only License: Prohibit Commercial Use (NIMS only)
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