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逆向型ラジカル源を用いた薄膜化技術に関する研究(平成3〜6年度 無機材質特別研究 1995 科学技術庁 無機材質研究所研究報告書第85号 
(Date of publication: 1995-11-13)
https://doi.org/10.11503/NIRIM0085 
| Collection: | 旧金材研・無機材研資料ライブラリー |
| Form: |
Online resource
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| Language: | Japanese |
| Physical description: | |
| Subject: | |
| Classification: | |
| Tag: |
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| Identifier: |
Handle URI: https://hdl.handle.net/20.500.11932/577340
DOI: 10.11503/NIRIM0085
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| Full-text file |
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| Abstract: | |
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