[M] 逆向型ラジカル源を用いた薄膜化技術に関する研究(平成3〜6年度 無機材質特別研究 1995 科学技術庁 無機材質研究所研究報告書第85号

(出版日: 1995-11-13)
https://doi.org/10.11503/NIRIM0085

• 書誌詳細

コレクション:	旧金材研・無機材研資料ライブラリー
形態:	オンラインリソース
言語:	日本語
ページ数と大きさ:
件名:
分類:
タグ:
識別子:	Handle URI: https://hdl.handle.net/20.500.11932/577340 DOI: 10.11503/NIRIM0085
全文ファイル	NIMS Digital Library NIRIM0085.pdf (4.06 MB) (NIMS only)
アブストラクト:
注記:

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
(番号なし)	ウェブ	ウェブ		在架（利用可能）