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Journal of Vacuum Science and Technology 11 4-6 
(出版日: 1974)
| 定期刊行物: | Journal of Vacuum Science & Technology |
|---|---|
| 版: | 新版 |
| 巻号: | 号: 4-6 |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | |
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| 識別子: | ISSN: 00225355 |
| アブストラクト: | |
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