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薄膜作製応用ハンドブック 
酒井忠司 [ほか] 編集委員, 宮﨑照宣編集協力委員
著者: 権田, 俊一 酒井, 忠司 宮崎, 照宣 出版者: エヌ・ティー・エス (出版日: 2020-02)
| 代替タイトル: | Handbook of thin film fabrication and application//2020版薄膜作製応用ハンドブック |
| 版: | 2020版 |
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| 巻号: | |
| 形態: |
冊子体
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| 言語: | 日本語 |
| ページ数と大きさ: | 38, 6, 16, 1468, 21, 15p ; 27cm |
| 件名: | |
| 分類: | |
| タグ: |
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| 識別子: |
ISBN: 9784860436315
NCID: BB29670662
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| アブストラクト: | |
| 注記: |
監修: 權田俊一//第2版(2003年刊)につづく第3版にあたる//巻頭: 口絵//各章末: 参考・引用文献//巻末: 索引・付録(評価方法と評価対象一覧) |
