[M] オプトエレクトロニクス分野を中心としたスパッタリング法による薄膜作製・制御技術

[金原粲ほか執筆]
Creator: 金原, 粲 Publisher: 技術情報協会 (Date of publication: 2006)

• Detail

Titlte alternative:	オプトエレクトロニクス分野を中心としたスパッタリング法による薄膜作製制御技術
Form:	Volume
Language:	Japanese
Physical description:	346p ; 27cm
Subject:
Classification:	UDC: 535
Tag:
Identifier:	ISBN: 9784861041259 NCID: BA79229100
Abstract:
Note:

Item identifier	Library	Shelf	Call number	Circulation status
602302	Sengen	Books 3	535|K|	Available On Shelf

• Reserve this manifestation
  (0 users)