[M] オプトエレクトロニクス分野を中心としたスパッタリング法による薄膜作製・制御技術

著者: [金原粲ほか執筆] 出版者: 技術情報協会 (出版日: 2006)

• 書誌詳細

代替タイトル:	オプトエレクトロニクス分野を中心としたスパッタリング法による薄膜作製制御技術
形態:	冊子体
言語:	日本語
ページ数と大きさ:	346p ; 27cm
件名:
分類:	UDC: 535
識別子:	ISBN: 9784861041259
アブストラクト:
注記:

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
602302	千現	単行書3	535|K|	在架（利用可能）

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