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オプトエレクトロニクス分野を中心としたスパッタリング法による薄膜作製・制御技術 
[金原粲ほか執筆]
著者: 金原, 粲 出版者: 技術情報協会
| 代替タイトル: | オプトエレクトロニクス分野を中心としたスパッタリング法による薄膜作製制御技術 |
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冊子体
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| 言語: | 日本語 |
| ページ数と大きさ: | 346p ; 27cm |
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| 識別子: |
ISBN: 9784861041259
NCID: BA79229100
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