[M] Force Sensors for Microelectronic Packaging Applications

著者: Jürg Schwizer, Michael Mayer, Oliver Brand 出版者: Springer Berlin Heidelberg (出版日: 2005)

• 書誌詳細

雑誌・シリーズ情報:	Microtechnology and MEMS
形態:	オンラインリソース
言語:	English
ページ数と大きさ:
件名:
分類:
識別子:	ISBN: 9783540269458 DOI: 10.1007/b138345
アブストラクト:
注記: