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[M] Preparation and properties 冊子体

John T. Milek
著者: 出版者: IFI/Plenum (出版日: 1971)

雑誌・シリーズ情報:
  • Handbook of electronic materials v. 3 . Silicon nitride for microelectronic applications ; pt. 1
形態: 冊子体 冊子体
言語: English
ページ数と大きさ: viii, 118 p. ; 27 cm
件名:
分類:
タグ:
識別子: ISBN: 9780306671036
アブストラクト:

注記:

Includes bibliographical references
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
523147 並木 参考図書3 画像 (03)54.0||02254 在架（利用可能）
貸出不可