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薄膜の基本技術 
金原粲著
著者: 金原, 粲 出版者: 東京大学出版会 (出版日: 1976-12)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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冊子体
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| 言語: | 日本語 |
| ページ数と大きさ: | 148p ; 21cm |
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| タグ: |
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| 識別子: |
ISBN: 9784130630252
NCID: BN00580937
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| アブストラクト: | |
| 注記: |
参考書: p130-131 |
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