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実用薄膜プロセス : 機能創製・応用展開 
齋藤文良, 多賀康訓編
著者: 齋藤, 文良 多賀, 康訓 出版者: 技術教育出版 エヌ・ティー・エス (発売) (出版日: 2009-08)
| 代替タイトル: | 実用薄膜プロセス : 機能創製応用展開 |
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冊子体
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| 言語: | 日本語 |
| ページ数と大きさ: | viii, 416p ; 27cm |
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| タグ: |
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| 識別子: |
ISBN: 9784907837181
NCID: BA91056919
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| 注記: |
文献: 各章末 |
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