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マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用
藤田博之著
Creator: 藤田, 博之 Publisher: 工業調査会 (Date of publication: 2003-08)
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| Language: | Japanese |
| Physical description: | 232p ; 21cm |
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ISBN: 9784769371175
NCID: BA6332701X
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参考文献: 各章末 |
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