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マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用 
藤田博之著
著者: 藤田, 博之 出版者: 工業調査会 (出版日: 2003-08)
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冊子体
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| 言語: | 日本語 |
| ページ数と大きさ: | 232p ; 21cm |
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ISBN: 9784769371175
NCID: BA6332701X
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| 注記: |
参考文献: 各章末 |
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