[M] マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用

藤田博之著
著者: 藤田, 博之 出版者: 工業調査会

• 書誌詳細

形態:	冊子体
言語:	日本語
ページ数と大きさ:	232p ; 21cm
件名:
分類:	UDC: 681
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識別子:	ISBN: 9784769371175 NCID: BA6332701X
アブストラクト:
注記:	参考文献: 各章末

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
602547	並木	単行書17	681|F|	在架（利用可能）

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