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MEMS : introduction and fundamentals 
edited by Mohamed Gad-el-Hak
著者: Gad-el-Hak, Mohamed 出版者: CRC, Taylor & Francis
(出版日: 2006)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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| 形態: |
冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 1 v. (various pagings) ; 26 cm |
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| 分類: | |
| タグ: |
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| 識別子: |
ISBN: 9780849391378
NCID: BA75369742
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| アブストラクト: | |
| 注記: |
The MEMS handbook, 2nd ed
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