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Design and operation of clean rooms 
by Philip R. Austin
著者: Austin, Philip R. 出版者: Business News Pub. Co. (出版日: 1970)
| 版: | Rev. ed |
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| 巻号: | |
| 形態: |
冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | ix, 452 p. ; 27 cm |
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| 識別子: |
NCID: BA37646134
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Includes bibliographies |
