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Journal of Vacuum Science & Technology A 3 1-3 Part.1 
(出版日: 1985)
| 定期刊行物: | Journal of Vacuum Science & Technology A |
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| 版: | |
| 巻号: | 巻: 3 号: 1-3 Part.1 |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | |
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| 識別子: | ISSN: 07342101 |
| アブストラクト: | |
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