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薄膜の作製・評価とその応用技術ハンドブック 
著者: 権田 俊一監修 出版者: フジ・テクノシステム
(出版日: 1984-01-01)
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冊子体
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| 言語: | 日本語 |
| ページ数と大きさ: | 821p; 29cm |
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