[M] 半導体の結晶欠陥制御の科学と技術 : シリコン編

角野浩二監修
Creator: 角野, 浩二 Publisher: サイエンスフォーラム (Date of publication: 1993-06)

• Detail

Form:	Volume
Language:	Japanese
Physical description:	365p ; 31cm
Subject:
Classification:	UDC: 548.3
Tag:
Identifier:	NCID: BN0926373X
Abstract:
Note:	執筆者:角野浩二ほか//各章末:文献

Item identifier	Library	Shelf	Call number	Circulation status
526126	Namiki	Books 18	548.3||05122	Available On Shelf

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