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半導体の結晶欠陥制御の科学と技術 : シリコン編 
角野浩二監修
著者: 角野, 浩二 出版者: サイエンスフォーラム (出版日: 1993-06)
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冊子体
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| 言語: | 日本語 |
| ページ数と大きさ: | 365p ; 31cm |
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NCID: BN0926373X
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| アブストラクト: | |
| 注記: |
執筆者:角野浩二ほか//各章末:文献 |
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