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薄膜作製応用ハンドブック 
多賀康訓 [ほか] 編集委員
著者: 多賀, 康訓 権田, 俊一 塚田, 俊久 平尾, 孝 出版者: エヌ・ティー・エス (出版日: 1995-11)
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冊子体
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| 言語: | 日本語 |
| ページ数と大きさ: | 23, 1187, 26p ; 27cm |
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NCID: BN13515927
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監修: 権田俊一//執筆者: 権田俊一ほか//ほかの編者: 塚田俊久, 平尾孝//各章末: 参考・引用文献 |
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