[M] 半導体および絶縁体へのイオン注入技術

大吉啓司著
著者: 大吉, 啓司 出版者: アイピーシー

• 書誌詳細

形態:	冊子体
言語:	日本語
ページ数と大きさ:	iii, 151p ; 27cm
件名:
分類:	UDC: 543.5
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識別子:	ISBN: 9784901493321 NCID: BA68365763
アブストラクト:
注記:

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
534150	並木	単行書10	543.5|O|H20.35	在架（利用可能）
600008	千現	単行書1	NIMS|O|	在架（利用可能）

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