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[M] シリコン : 結晶成長とウエーハ加工 Volume

阿部孝夫著
Creator: Publisher: 培風館 (Date of publication: 1994-05)

Series statement:
  • アドバンストエレクトロニクスシリーズ カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 5
Form: Volume Volume
Language: Japanese
Physical description: xii, 361p ; 22cm
Subject:
Classification:
Tag:
Identifier: ISBN: 9784563036058
Abstract:

Note:

各章末: 参考文献
Item identifier Library Shelf Call number Circulation status
213153 Namiki Books 18 Picture 548.5|A|T-1565 Available On Shelf