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シリコン : 結晶成長とウエーハ加工 
阿部孝夫著
著者: 阿部, 孝夫 出版者: 培風館 (出版日: 1994-05)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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冊子体
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| 言語: | 日本語 |
| ページ数と大きさ: | xii, 361p ; 22cm |
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| 識別子: |
ISBN: 9784563036058
NCID: BN10742751
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| 注記: |
各章末: 参考文献 |
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