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Ion implantation in semiconductors : [pbk]
D. Stievenard, J.C. Bourgoin
著者: Stievenard, D. Bourgoin, J. C. 出版者: Sci-Tech Publications (出版日: 1988)
| 代替タイトル: | Solid state phenomena |
| 雑誌・シリーズ情報: |
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| 版: | |
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| 巻号: | 巻: : [pbk] |
| 形態: |
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | v, 473 p. ; 25 cm |
| 件名: | |
| 分類: | |
| タグ: |
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| 識別子: |
NCID: BB22605414
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| アブストラクト: | |
| 注記: |
"Focus -- Ion implantation in semiconductors"//"SSP" |