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Thin-film deposition : principles and practice 
Donald L. Smith
著者: Smith, Donald L. (Donald Leonard) 出版者: McGraw-Hill (出版日: 1995)
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xxiii, 616 p. ; 24 cm |
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ISBN: 9780070585027
NCID: BA24899126
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| 注記: |
Includes bibliographical references and index |
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