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Gettering and deffect engineering in semiconductor technology : GADEST '99 : proceedings of the 8th International Autumn Meeting : Höör, Schweden, September 25-28 1999 
editors, H.G. Grimmeiss, L.Ask, M.Kleverman, M.Kittler and H.Richter
著者: International Autumn Meeting, Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology Grimmeiss, H.G. Ask, L. Kleverman, M. Kittler, M. Richter, H. 出版者: Scitec Publications (出版日: 1999)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 610 p. ; 25 cm |
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ISBN: 9783908450474
ISSN: 10120394
NCID: BA62025401
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