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Ion Implantation： Science and Technology 
著者: edited by J.F. Ziegler 協力者・編者: edited by J.F. Ziegler 出版者: Academic Press
(出版日: 1984)
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 635p; 24cm |
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| 識別子: | ISBN: 9780127806204 |
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| 注記: |
本所より管理換 |
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