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Ion implantation : science and technology 
edited by J.F. Ziegler
著者:
Ziegler, J. F. 協力者・編者:
edited by J.F. Ziegler 出版者:
Academic Press (出版日:
1984)
| 形態: |
冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 635 p. ; 24 cm |
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| 分類: | |
| タグ: |
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| 識別子: |
ISBN: 9780127806204
NCID: BA01370949
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| アブストラクト: | |
| 注記: |
Includes index |
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