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Materials for mechanical and optical microsystems : symposium held December 4-5, 1996, Boston, Massachusetts,U.S.A. 
editors, Michael L. Reed ... [et al.]
著者: Reed, Michael L. 出版者: Materials Research Society (出版日: 1997)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | ix, 242 p. ; 24 cm |
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| 識別子: |
ISBN: 9781558993488
NCID: BA30133787
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| 注記: |
Includes bibliographical references and index |
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