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In situ process diagnostics and modelling : symposium held April 6-7, 1999, San Francisco, California, U.S.A. 
editors: Orlando Auciello ... [et al.]
著者: Auciello, Orlando 出版者: Materials Research Society (出版日: 1999)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xi, 199 p. ; 24 cm |
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ISBN: 9781558994768
NCID: BA43280977
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