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[M] Gate Stack and Silicide Issues in Silicon Processing : Symposium held April 25-27, 2000, San Francisco, California, U.S.A. ; MRS Vol.611 Vol.611 Vol.611
著者: editors; L.A. Clevenger, S.A. Campbell, P.R. Besser, [et al.] 出版者: Materials Research Society (MRS)
(出版日: 2001)
版: | |
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巻号: | 巻: Vol.611 |
形態: | 冊子体 |
言語: | English |
ページ数と大きさ: | 24 |
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識別子: | ISBN: 9781558995192 ISSN: 02729172 |
アブストラクト: | |
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所蔵情報ID | 図書館 | 本棚 | 請求記号 | 貸出状態 |
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218801 | 千現 | プロシーディングス26 | MRS|P|11473 | 在架(利用可能) |