資料の表示
[M]
Gate stack and silicide issues in silicon processing : symposium held April 25-27, 2000, San Francisco, California, U.S.A. 
editors, L.A. Clevenger ... [et al.]
著者: Clevenger, L. A. 出版者: Materials Research Society (出版日: 2001)
| 雑誌・シリーズ情報: |
|
| 形態: |
冊子体
|
| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 1 v. (various pagings) ; 24 cm |
| 件名: | |
| 分類: | |
| タグ: |
|
| 識別子: |
ISBN: 9781558995192
ISSN: 02729172
NCID: BA52289393
|
| アブストラクト: | |
| 注記: |
Includes bibliographical references and indexes |
|---|
