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次世代精密位置決め技術 
精密工学会超精密位置決め専門委員会, 次世代精密位置決め技術編集委員会監修
Creator: 精密工学会 精密工学会超精密位置決め専門委員会 次世代精密位置決め技術編集委員会 Publisher: フジ・テクノシステム (Date of publication: 2000-04)
| Titlte alternative: | Present and future technology of ultraprecision positioning |
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Volume
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| Language: | Japanese |
| Physical description: | 15, 674p ; 27cm |
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| Classification: | |
| Tag: |
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| Identifier: |
ISBN: 9784938555764
NCID: BA46716933
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| Note: |
編集委員長: 大塚二郎//参考・引用文献: 各節末 |
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