[M] 次世代精密位置決め技術 Present and Future Technology of Ultraprescision Positioning

著者: 精密工学会 超精密位置決め専門委員会,次世代精密位置決め技術編集委員会 監修 出版者: フジ・テクノシステム (出版日: 2000)

• 書誌詳細

形態:	冊子体
言語:	日本語
ページ数と大きさ:	674p; 27cm
件名:
分類:	UDC: 621
識別子:	ISBN: 9784938555764
アブストラクト:
注記:

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
218376	千現	単行書10	621|S|11110	在架（利用可能）

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