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[M] Sputtering by Particle Bombardment 1 : Physical Sputtering of Single-Elemnt Solids Vol.47 Vol.47
著者: edited by Rainer Behrisch : with contributions by H.H. Andersen, H.L. Bay [et al.] 協力者・編者: edited by Rainer Behrisch : with contributions by H.H. Andersen, H.L. Bay [et al.] 出版者: Springer-Verlag
(出版日: 1981)
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巻号: | 巻: Vol.47 |
形態: | 冊子体 |
言語: | English |
ページ数と大きさ: | 281p; 24cm |
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識別子: | ISBN: 9783540105213 |
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