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Advanced Interconnects and Contact Materials and Processes for Future Integrated Circuits : Symposium held April 13-16, 1998, San Francisco, California, U.S.A.: MRS Vol.514 Vol.514 Vol.514 
著者: editors, Shyam P. Murarka, Moshe Eizenberg, David B. Fraser [et al.] 出版者: Materials Research Society (MRS) (出版日: 1998)
| 版: | |
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| 巻号: | 巻: Vol.514 |
| 形態: |
 冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 560p; 24cm |
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| 分類: | |
| 識別子: | ISBN: 9781558994201 ISSN: 02729172 |
| アブストラクト: |
| 所蔵情報ID | 図書館 | 本棚 | 請求記号 | 貸出状態 |
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| 218006 | 千現 |
プロシーディングス26 
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MRS|P|10797 | 在架（利用可能） |