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プラズマ反応による物質合成と材料処理 
著者: 理化学研究所 出版者: アイオニクス (出版日: 1984)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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| 形態: |
冊子体
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| 言語: | 日本語 |
| ページ数と大きさ: | 226p ; 26cm |
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| 識別子: |
NCID: BN01056265
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| アブストラクト: | |
| 注記: |
監修:理化学研究所 |
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