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Ion implantation 
edited by J. K. Hirvonen
著者: Hirvonen, J. K. (James Karsten) 協力者・編者: edited by J.K. Hirvonen 出版者: Academic Press (出版日: 1980)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xiv, 502 p. ; 24 cm |
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| 識別子: |
ISBN: 9780123418180
NCID: BA04352160
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Includes bibliographies and index |
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