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高集積回路配線用高性能アルミニウム合金の開発 
研究代表者:伊藤吾朗
著者: 伊藤, 吾朗 出版者: 軽金属奨学会 (出版日: 2000)
| 代替タイトル: | Development of high performance aluminum alloys for the interconnection in highly integrated large scale circuits |
| 雑誌・シリーズ情報: |
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| 形態: |
冊子体
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| 言語: | 日本語 |
| ページ数と大きさ: | 123p ; 30cm |
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| 分類: | |
| タグ: |
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| 識別子: |
NCID: BA48003522
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| アブストラクト: | |
| 注記: |
英文併記 |
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