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Materials, Technology and Reliability for Advanced Interconnects and Low-k Dielectrics - 2003 : Symposium held April 21-25, 2003, San Francisco, California, U.S.A. ; MRS Vol.766 Vol.766 Vol.766 
著者: editors； Andrew J. McKerrow, Jihperng (Jim) Leu, Oliver Kraft [et al.] 出版者: Materials Research Society (MRS) (出版日: 2003)
| 版: | Second edition |
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| 巻号: | 巻: Vol.766 |
| 形態: |
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | |
| 件名: | |
| 分類: | |
| 識別子: | ISBN: 9781558997035 |
| アブストラクト: | |
| 注記: |
| 所蔵情報ID | 図書館 | 本棚 | 請求記号 | 貸出状態 |
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| 219521 | 千現 |
プロシーディングス26 
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MRS|P|11935 | 在架（利用可能） |