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Silicide thin films - fabrication, properties, and applications : Symposium held November 27-30, 1995, Boston, Massachusetts, USA 
editors, Raymond T. Tung ... [et al.]
著者: Tung, R. T. (Raymond T.) 出版者: Materials Research Society (出版日: 1996)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xv, 648 p. ; 24 cm |
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| 識別子: |
ISBN: 9781558993051
NCID: BA27777679
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| 注記: |
Includes bibliographical references and index |
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