資料の表示
[M] Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.3 No.4-6 Vol.3 No.4-6
出版者: American Vacuum Society
(出版日: 1985)
定期刊行物: | Journal of Vacuum Science & Technology B |
---|---|
版: | |
巻号: | 巻: Vol.3 号: No.4-6 |
形態: | 冊子体 |
言語: | English |
ページ数と大きさ: | 29 |
件名: | |
分類: | |
タグ: |
|
識別子: | ISSN: 0734211X |
アブストラクト: | |
注記: |