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スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用 
金原粲著
著者: 金原, 粲 出版者: 東京大学出版会 (出版日: 1984-03)
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冊子体
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| 言語: | 日本語 |
| ページ数と大きさ: | ix, 231p ; 22cm |
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ISBN: 9784130610476
NCID: BN00164488
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各章末: 参考文献//一般的参考書: p226 |
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