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Materials, technology and reliability for advanced interconnects and low-k dielectrics - 2004 : symposium held April 13-15, 2004, San Francisco, California, U.S.A. 
editors, R.J. Carter ... [et al.]
著者: Carter, R. J. 出版者: Materials Research Society (出版日: 2004)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xiii, 402 p. ; 24 cm |
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| 識別子: |
ISBN: 9781558997622
NCID: BA69047763
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| 注記: |
Includes bibliographical references and indexes |
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