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Principles of plasma discharges and materials processing 
Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg
著者: Lieberman, M. A. (Michael A.) Lichtenberg, Allan J. 出版者: Wiley (出版日: 1994)
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xxvi, 572 p. ; 25 cm |
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ISBN: 9780471005773
NCID: BA2405445X
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| 注記: |
Includes bibliographical references (p. 559-564) and index//"A Wiley-Interscience publication." |
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